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高调节范围RFMEMS压控电容的设计与模拟 被引量:1

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摘要 对传统平行极板MEMS压控电容的局限性进行了理论分析,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容,它的特点在于使用了三对极板,其中的一对是电容极板,另外两对是控制极板,电容极板用于传输交流信号,而直流控制电压施加在控制极板上,使用有限元分析软件Ansys对其进行了建模与仿真,得出其调节范围高达214%,大大超出了传统的平板电容在调节范围上的自然限制(50%),设计了该电容的工艺流程,其工艺流程比较简单,很容易集成在标准的CMOS集成电路中。
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期179-182,共4页 半导体学报(英文版)
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同被引文献8

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引证文献1

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