洁净厂房内VOC控制方案探讨与实施

近年来,我国制造业开始向高科技产业大幅度拓展,晶圆半导体、液晶面板高新产业发展迅速,随着制程工艺水平、产能的不断提升,洁净厂房内VOC含量越来越高,正在逐步受到从业者的关注。本文从主流的VOC去除方法开始,分析探讨控制处理洁净室内VOC比较可行的方法。