期刊文献+

文摘

下载PDF
导出
摘要 专利摘要部份真空泵用的残余气体去除装置(美) No.3239134 Cl.230—69 Steele Gordon N Sigmatron Jnc. 1964.4.14 1966.3.8 本专利提出一种能去除被抽容器中残余气体及工作液蒸汽的吸气装置,它设于抽气系统与工作室之间。残余气体是靠溅射至吸气装置壁上的钛薄膜来排除的。在难熔金属丝上绕以钛丝便形成了蒸发器。蒸发器设有隔离屏。
出处 《真空电子技术》 1967年第4期85-92,84,共9页 Vacuum Electronics
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部