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多光谱单片红外焦平面列阵探测器

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摘要本发明提供一种多色红外传感器件，即单片多色红外成像列阵。这种器件是通过用分子束外延(MBE)将碲镉汞材料结构直接生长在定制的读出电路上的方式制备的。其具体制备步骤如下：在硅半导体衬底的一个表面上专门设计和制备一个用于直接外延生长的读出集成电路；

作者高

出处《红外》 CAS 2004年第2期16-16,共1页 Infrared

关键词红外焦平面列阵探测器红外传感器件分子束外延碲镉汞材料集成电路湿法蚀刻

分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]

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红外

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