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超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计被引量：4

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摘要本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.

作者刘朋王水弟杨宝和陈为红

机构地区清华大学微电子学研究所

出处《实验技术与管理》 CAS 2003年第6期15-19,共5页 Experimental Technology and Management

关键词超大规模集成电路超纯水制备系统流程水质自动化

分类号 TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学] TQ085 [化学工程]

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实验技术与管理

2003年第6期

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