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改造真空蒸发镀膜机为蒸发溅射两用镀膜机被引量：3

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摘要本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为蒸发与磁控溅射多用途镀膜机的意义.叙述了两种磁控溅射靶的安装方式、结构与特点.介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学实验和科学工作中的应用与效果.

作者张浩康

机构地区东南大学电子工程系南京

出处《实验技术与管理》 CAS 2003年第6期106-109,共4页 Experimental Technology and Management

关键词真空蒸发镀膜机蒸发溅射两用镀膜机磁控溅射技术改造

分类号 TB43 [一般工业技术] TG155 [金属学及工艺—热处理]

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实验技术与管理

2003年第6期

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