应用材料推出新型Applied Quantum Ⅲ系统提高生产效能

应用材料公司推出新型Applied Quantum Ⅲ，将系统低能量离子植入的生产效能做了业界上前所未有的提升。这套系统不仅在多数应用上增加了15—20%的离子束电流，并有效地缩短扫描时间，使得系统生产效率提高20—50％。