低温合成太阳电池及显示器用聚硅

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摘要琦玉大学工学部白井肇副教授开发了能够在塑料等低耐热性基板上面利用等离子辅助低温合成聚硅(Poly-Si)的新制法。以前聚硅是使用SiHCl3等卤素系原料制膜，但要在高温中进行热处理，塑料等耐热性低的材料不能作为Poly-Si制膜用的基板使用。

作者杨守春

出处《现代材料动态》 2004年第2期11-12,共2页 Information of Advanced Materials

关键词太阳电池显示器聚硅合成工艺耐热性

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现代材料动态

2004年第2期

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