高精度微细加工技术与高集成化:以微型智能传感器为目标
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1荣烈润.微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)[J].机电一体化,2007,13(5):80-82. 被引量:2
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2荣烈润.微机械加工技术的现状及其发展趋势(下)[J].机电一体化,2007,13(6):79-81. 被引量:3
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3罗庆生,韩宝玲,郭南.集成式微型智能传感器的研究与思考[J].仪表技术与传感器,2001(2):1-2. 被引量:1
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4何茂先,殷晨波,涂善东,董云海,杨敏.基于微型智能传感器的汽车轮胎压力监控系统[J].汽车工程,2006,28(8):771-773. 被引量:3
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5童志义,赵晓东.国内外MEMS器件现状及发展趋势[J].电子工业专用设备,2002,31(4):200-206. 被引量:12
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6于东英.微型机器人身手不凡[J].科学画报,1992,0(8):12-13.
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7杭海梅.微型智能传感器在胎压监控系统中的应用[J].企业技术开发,2009,28(5):62-64.
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8张星,王向军,文鹏程.基于TCP/IP协议的无线远程温湿度监控系统[J].仪表技术与传感器,2008(6):44-46. 被引量:15
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9意法半导体推出内置微控制器的超薄3轴加速度计[J].电子产品世界,2013,20(3):75-75.
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102015全国传感器与微系统(MEMS)技术应用大会暨2015中国传感器与微系统(MEMS)技术工程师年会[J].太赫兹科学与电子信息学报,2015,13(3).