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Al含量对Ti_(1-X)Al_XN涂层组织结构的影响 被引量：14

The Effect of Al Content on the Microstructure of Ti_ (1-X) Al_XN Coating
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摘要 通过不同 Al含量的 Ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 Ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,Ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随着 Al含量的增加 ,涂层中的 (Ti,Al) N相减少 ,且其晶格常数降低。 Ti 1 X Al XN coating was deposited by multi arc ion plating method with cast Ti Al alloy and hot press sintered Ti Al alloy used as the targets The microstructure of the coating and the mechanism were studied by SEM?XRD and XTEM The results show that the TiAlN coating has a polycrystalline columnar structure, it is mainly composed of (Ti,Al)N; The raise of Al content would decrease the formation and the lattice constant of (Ti,Al)N
作者 王永康 熊仁章 雷廷权 夏立芳 李炳生
机构地区 宁波市表面工程研究中心 哈尔滨工业大学
出处 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期24-25,12,共3页 Journal of Materials Engineering
关键词 多弧离子镀 Ti1-xAlxN涂层 组织结构 (TI AL)N multi arc ion plating Ti 1 X Al XN coating microstructure (Ti,Al)N
分类号 TG174.375 [金属学及工艺—金属表面处理]
  • 相关文献

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共引文献27

同被引文献122

引证文献14

二级引证文献71

材料工程
2002年 第8期

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