期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

微机电系统(MEMS)技术及发展趋势 被引量：26

MEMS Technology and Developing Trend
下载PDF
导出
摘要 主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。 This paper briefly discusses the basic characters,main machining technology and materials and developing trend on MEMS.
作者 王亚珍 朱文坚
机构地区 华南理工大学机电工程系
出处 《机械设计与研究》 CSCD 2004年第1期10-12,共3页 Machine Design And Research
关键词 微机电系统 MEMS 微机械加工 微传感器 微执行器 发展趋势 MEMS micro-mechanical machining micro-sensor micro-actuator
分类号 TH-39 [机械工程]
  • 相关文献

参考文献8

二级参考文献12

  • 1Fan L S，IEDM，1988年，12期，666页
  • 2Kovaes G T A.Micromachined transducers sourcebook.McGraw-Hill.1998,2.
  • 3Peterson K E.Silicon as a mechanical material.Proceedings of IEEE,1982,70 (5) .
  • 4Fujita H.Microactuaors and micromachines.Proceedings of the IEEE,1998,86 (8) :1721.
  • 5Tang W C.MEMS programs at DRAPA (ppt file),http: ∥www.darpa.mil/MTO/MEMS,2000.
  • 6Fukuda T,Menz M (Edited by) .Micro mechanical systems:principles and technology,Elsevier Science B V,1998.
  • 7Fujita H.Microactuaors and micromachines.Proceedings of the IEEE,1998,86 (8): 1721.
  • 8Fukuda,Menz W (Edited by) .Micro mechanical systems:principles and technology.Elsevier Science B V,1998.
  • 9Kovaes G T A et al.BuNk micromachining of silicon.Proceedings of the IEEE,1998,86 (8): 1536.
  • 10www.sandia.gov

共引文献78

同被引文献192

引证文献26

二级引证文献70

机械设计与研究
2004年 第1期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部