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新型微机电系统探测器

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摘要 由美国田纳西州Knoxville萨康微系统公司和新泽西州Princeton萨诺夫公司开发的新型微机电系统探测器,利用其表面热敏显微悬臂元件阵列,捕获320×240个像素。已取得专利的红外探测器机械原型已在奥兰多举行了产品展示,该公司预计2004年第一季度将推向市场。
作者 傅恩生
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 2004年第2期63-63,共1页 Laser & Optoelectronics Progress
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