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新型微机电系统探测器
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摘要
由美国田纳西州Knoxville萨康微系统公司和新泽西州Princeton萨诺夫公司开发的新型微机电系统探测器,利用其表面热敏显微悬臂元件阵列,捕获320×240个像素。已取得专利的红外探测器机械原型已在奥兰多举行了产品展示,该公司预计2004年第一季度将推向市场。
作者
傅恩生
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
2004年第2期63-63,共1页
Laser & Optoelectronics Progress
关键词
微机电系统
探测器
热敏显微悬臂元件阵列
非冷却红外成像
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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激光与光电子学进展
2004年 第2期
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