接触式量块激光干涉仪测量软件的设计与应用

本文针对接触式量块激光干涉仪的自动测量软件提出一套简便实用的设计方法 ,包括数据结构的定义、测量界面的组成、数据文件的自动处理及测量结果的自动保存等。在实验中 ,测头接触的重复性优于 1nm ,测量量块的重复性小于 5nm。