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柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟

Finite Element Simulation of Cylindrical Piezoelectric Thin Film Micromotor
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摘要 通过对柱状薄膜型压电微电机致动机理的研究 ,运用有限元模拟进行模态分析。通过对定子固有频率以及机构尺寸的计算 ,为类似研究探讨提供一种行之有用的方法。 Through the researches on kind of cylindrical piezoelectric thin film micromotor mechanisms, finite element simulation and modal analysis are carried out in this paper. And also this paper puts forward a useful method to some similar researches, throughthe calculations of resonance frequency of stators and size of machines.
机构地区 华中科技大学
出处 《微特电机》 北大核心 2004年第1期6-7,12,14,共4页 Small & Special Electrical Machines
关键词 柱状薄膜型压电微电机 有限元模拟 固有频率 定子换能器 定子 转子 piezoelectric thin film micromotor finite element resonance frequency modal analysis
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