嵌入型量测设备及封闭式控制回路在提升研磨制程能力的应用

Enhancing the Polishing Process by Using in-Line Metrology with Closed Loop Control

诺威量测为第一家首先提出嵌入式量测解决方案的公司,凭借其在嵌入式量测及先进制程控制所取得的经验,提供在化学机械研磨制程上降低生产成本且可提高产品质量的测量系统。探讨嵌入型量测的观念及原理,封闭式回路控制在芯片生产上已被应用多年。