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PSD高精度位置测量系统的研究与设计 被引量:42

Research of high precision position measurement system and its design based on PSD
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摘要 介绍了对一维位置敏感探测器外围信号处理电路的改进方法 ,通过减弱或消除噪声的影响 ,设计出了一套可以测量微米级位置移动的高精度测量系统 。 The methods used to improve PSD signal processing cir cu it were introduced. By weakening or removing the effect of noise, a high precisi on position measurement system based on PSD with high precision was designed and the experiment results were also provided.
出处 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期7-9,共3页 Journal of Huazhong University of Science and Technology(Natural Science Edition)
基金 国家自然科学基金资助项目 ( 6 97730 74 )
关键词 位置测量 位置敏感探测器 信号处理 背景光 数据采集 position measurement position sensitive det ector signal processing background light data acquisition
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参考文献2

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共引文献32

同被引文献196

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