摘要
介绍了对一维位置敏感探测器外围信号处理电路的改进方法 ,通过减弱或消除噪声的影响 ,设计出了一套可以测量微米级位置移动的高精度测量系统 。
The methods used to improve PSD signal processing cir cu it were introduced. By weakening or removing the effect of noise, a high precisi on position measurement system based on PSD with high precision was designed and the experiment results were also provided.
出处
《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期7-9,共3页
Journal of Huazhong University of Science and Technology(Natural Science Edition)
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 6 97730 74 )
关键词
位置测量
位置敏感探测器
信号处理
背景光
数据采集
position measurement
position sensitive det ector
signal processing
background light
data acquisition