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TDR(L)-J50型光学炉的维护与常见故障分析
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摘要
本文介绍了TDR(L)-J50型光学晶体生长设备的结构原理、性能特点,重点介绍了其常见故障产生的原因及预处理方法。
作者
李留臣
董淑梅
高京慧
赵秦延
机构地区
西安理工大学
出处
《电子工业专用设备》
2004年第3期82-84,共3页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
TDR(L)—J50
光学炉
维护
故障检修
光学晶体
晶体生长
分类号
O78 [理学—晶体学]
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