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国外压力传感器市场及新产品动向(三)

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摘要 美国IC Sensor公司用微结构技术制作压力传感器性能如表8所示。 三、国外压力传感器技术发展趋势 综上所述,从近年来国外压力传感器的发展情况可以看出,发展趋势主要是半导体化、小型化、高精度化和智能化等,现分别简述如下:
作者 孟涛 陆广振
出处 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1992年第6期37-38,共2页 Instrument Technique and Sensor
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