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超大规模集成电路波导光互连技术的现状与前景

THE PRESENT CONDITION AND PROSPECT OF OPTICAL WAVEGUIDE INTERCONNECTION TECHNIQUE FOR VLSI
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摘要 介绍超大规模集成电路(VLSI)波导(?)互连技术的最新进展,并预测其发展方向,以及如阿解决存在的实际问题。 The latest advance and developing trend of optical waveguide interconnection technique for VLSI are described, And it is pointed out that how the practical problems in it are solved,
出处 《应用光学》 CAS CSCD 1992年第6期1-3,11,共4页 Journal of Applied Optics
关键词 超大规模 集成电路 波导 互连工艺 very large scale integration circuit, waveguide, interconnection, detector
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