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820离子源在600KeV离子注入机的应用
全文增补中
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作者
关安民
孙义林
出处
《科技通讯(上海船厂)》
1989年第1期57-59,共3页
关键词
离子源
离子注入机
离子品种
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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1
S.R.Walther,许春高.
离子注入用强流微波离子源[J]
.微细加工技术,1992(2):74-77.
2
翟其刚,俞光仪,徐林木,陈伟民.
使用单片微机的离子源弧流稳定系统[J]
.应用科学学报,1991,9(3):215-221.
科技通讯(上海船厂)
1989年 第1期
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