在线测量表面粗糙度的传感器及其应用

介绍用于表面粗糙度在线测量的各种非接触光学法,包括反射光位置检测法、聚焦误差检测法、使用光纤和光杠杆的方法。其结果和机械式表面粗糙度轮廓仪所得十分吻合。然而、切屑、润滑液和机床振动会影响在线测量的精度或可行性。