提高激光干涉仪分辨力和可靠性的一种相位编码方法

提出一种电子测量方法,它能提高测量位移用的激光干涉仪的分辨力和可靠性。通过对干涉条纹间隔分区编码,测量位移的分辨力为波长的1/170(对He-Ne激光器约为4nm)。因为避免了在计数过程中由环境噪声而引起的累积误差,所以测量值比使用那些传统的脉冲计数测量法更为可靠。