溅射淀积法生长CuInSe_2薄膜

THE METHOD OF SPUTTER DEPOSITING CuInSe_2 THIN FILM

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摘要本文报道了我们用射频溅射法淀积CuInSe_2薄膜的一些结果 In this paper, The Same results are rcparted by r-f sputter depositing CulnSe_2thin film.

作者刘滔彭贵

机构地区云南师范大学太阳能研究所云南半导体器件厂

出处《云南师范大学学报（自然科学版）》 1992年第2期85-87,共3页 Journal of Yunnan Normal University:Natural Sciences Edition

基金国家自然科学基金资助项目

关键词太阳能电池薄膜铜锢硒溅射淀积 Thin film CulnSe_2sputter depsition

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云南师范大学学报（自然科学版）

1992年第2期

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