摘要
报道了一种长波长的 In P基谐振腔 (RCE)光电探测器 .采用选择性湿法刻蚀 ,制备出基于 In P/空气隙的分布布拉格反射镜 ,并将该结构的反射镜引入 RCE光电探测器 .制备的器件在波长 1.5 10 μm处获得了约 5 9%的峰值量子效率 ,以及 8GHz的 3d B响应带宽 ,其中器件的台面面积为 5 0 μm× 5 0 μm.
An InP based resonant cavity enhanced (RCE) photodetector is demonstrated.InP/air-gap distributed Bragg reflector (DBR) with high reflectivity is fabricated by using selective wet etching.Moreover,long wavelength RCE photodetectors with InP/air-gap DBR is realized for the first time.The quantum efficiency of 59% at 1.510μm and 3dB bandwidth at 8GHz are achieved with devices active area of 50μm×50μm.
基金
国家高技术研究发展计划 (编号 :2 0 0 2 AA3 12 2 9Z)
国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 10 3 5 )资助项目~~
关键词
谐振腔增强型光电探测器
长波长
空气隙
选择性湿法刻蚀
resonant cavity enhanced (RCE) photodetector
long wavelength
air gap
selective wet etching
