准分子激光微细加工微锥体的旋转抛磨加工法

A Microfabricating and Polishing System for Cone Based on Excimer Laser

介绍了一种采用准分子激光进行微细加工微锥体技术的新方法,并利用该方法在有机玻璃上制作质谱分离芯片电喷尖的实验。该方法借鉴了传统机械加工中车削的概念,但实质上依靠非接触的激光冷加工技术实现,是一种以准分子激光刻蚀(加工)与激光辐射方向垂直的旋转轴(工件)的抛磨加工法。该方法可主要用于圆柱体,圆锥体等轴对称三维微细结构的精密加工及微器件表面质量的优化。解决了对于微小器件表面进行抛光的难题,简化了利用准分子激光对轴对称工件的加工过程,提高了加工精度。