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摘要产品篇 J280-4/ZF型四轴研磨机用途: 供光学玻璃及石英晶体研磨、抛光平面和曲面之用,主要技术规格 1.制品机头数:4个 2.盆直径300mm 3.盆个数:4个 4.加工最大直径:150mm 5.下研磨盘直径:180mm 6.下研磨盘连接方式:锥度连接(外锥1:20)

出处《集成电路应用》 2004年第2期48-59,共12页 Application of IC

关键词半导体生产设备技术规格应用范围技术数据型号

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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集成电路应用

2004年第2期

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