摘要
在设计点扫描激光共焦显微镜测量系统时 ,物镜参数的选择是至关重要的 ,因为它的数值孔径大小直接影响着系统的测量精度。本文对系统测量精度达到 1μm时物镜参数的选择进行了详细的阐述。
When the measuring system of point scanning confocal microscope is designed,the parameter of object lens is important because the measuring precision of the system are determined by the numerical aperture of lens. The selection of the numerical aperture is expounded when the system precision is.
出处
《工具技术》
北大核心
2004年第3期51-53,共3页
Tool Engineering
基金
陕西省 2 0 0 2年度自然科学研究计划项目