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半导体工业的心脏移植——Intel纳米电子材料发展路线图

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摘要 面对芯片制造工艺复杂度与精度的提高、全球中试与制造基地的拓展、市场价格降低的压力以及愈发严格的环境政策法规的限制,Intel启动了以纳米技术为核心的器件发展计划,公司将新型纳米材料的研究列为第一优先的主题。
出处 《新材料产业》 2004年第2期78-81,共4页 Advanced Materials Industry
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