干式真空泵的优化选择
Optimized Vacuum Pumping Requires Understanding of Choices
摘要
介绍了在半导体工艺中应用的干式真空泵的几种选择类型。
Introduces some choices of Dry Vacuum Pump
出处
《电子工业专用设备》
2004年第4期12-14,共3页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
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