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关于半导体检测分析设备ICP-MS的日常维护
被引量：
1
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摘要
介绍了半导体检测设备ICP-MS在半导体工业中的发展及几个重要组成部件的功用,着重介绍了该设备各主要部件的维护。
作者
徐继平
王学武
王喆
机构地区
北京有研硅股公司
出处
《电子工业专用设备》
2004年第4期59-60,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
半导体检测分析设备
ICP-MS
日常维护
电感耦合等离子体
质谱
蠕动泵
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分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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