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一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型

A Na-scale Linewidth Model Based on the Histogram
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摘要 用原子力显微镜 (AFM )来测量纳米线宽近几年发展迅速。针对AFM能对纳米线宽表面三维成像的特点 ,本文提出了一个直方图线宽计算模型 ,并通过实验数据同其他模型进行了比较。该线宽计算模型具有算法简单。
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《计量技术》 2004年第3期3-6,共4页 Measurement Technique
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参考文献4

二级参考文献14

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  • 10美国国家关键技术委员会,国家关键技术委员会的报告,55页

共引文献20

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