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ITO成膜法与离子成膜装置

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摘要 ITO(Indium Tin Oxide)膜，广泛地应用于个人电脑、手机、液晶电视机等平板显示器的液晶显示装置上，而且其需求量呈越发增加之趋势。特别在最近，作为应用在有机EL显示器上的透明电极膜，ITO膜更加受到观注。

作者冯有才

机构地区彩虹集团外事科

出处《显示器件技术》 2004年第1期27-32,共6页

关键词 ITO膜成膜法离子成膜装置有机EL显示器 PCS原理

分类号 TN141.5 [电子电信—物理电子学]

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