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镍钛合金薄膜多元化学刻蚀剂
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《科技开发动态》
2004年第3期55-55,共1页
R&D Information
关键词
镍钛合金薄膜
多元化学刻蚀剂
配方
刻蚀速率
分类号
TN05 [电子电信—物理电子学]
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唐一波,陈冰,陈志勇,朱卫华,李月华,王新林.
飞秒激光烧蚀镍钛形状记忆合金的蚀除机理[J]
.强激光与粒子束,2014,26(9):137-142.
被引量:3
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