转向SMIF的关键意义在于可满足低成本高效率的晶片生产需求

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摘要 3月17日，在中国上海举行的2004年中国国际半导体设备与材料展览暨研讨会上，Asyst Technologies董事长兼首席执行官Stephen Schwartz将使中国的宏大计划—采用标准机械界面(SMIF)和自动化物料搬运系统(AMHS)技术创建高度自动化的200mm和300mm fab—闪亮登场。他说：“今年。

出处《集成电路应用》 2004年第4期22-23,共2页 Application of IC

关键词 SMIF 标准机械界面芯片制造业自动化物料搬运系统成本

分类号 F407.63 [经济管理—产业经济]

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