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有机硅解决方案
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摘要
道康宁电子事业部携手战略伙伴共同开发有机硅解决方案用于先进的193nm光阻剂和抗反射涂层。
出处
《化工文摘》
2004年第2期20-20,共1页
关键词
光阻剂
抗反射涂层
有机硅
道康宁公司
电子化学品
分类号
TQ264.1 [化学工程—有机化工]
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