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光栅莫尔条纹信号质量的提高及其采集方法 被引量:11

Improving Quality of Grating Moiré Fringe and a Collection Method
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摘要 基于对光栅线性传感器(DPROS)和2m光栅检刻机检测系统的研制,该文叙述了一种获取高质量光栅莫尔条纹信号的设计方法,并在数字式量仪的系列开发中得到应用验证. Based on research of the grating linear transducers and a 2-meter grating measuring device, a design method that can be used to obtain high-precision grating Moiré fringe is proposed. This method is used in developing a digital measuring device.
出处 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2004年第2期129-132,共4页 Journal of Shanghai University:Natural Science Edition
关键词 光栅莫尔条纹 信号质量 信号采集 光栅线性传感器 数字式量仪 光栅检测机 transducer digital gauge grating measuring device
  • 相关文献

参考文献4

  • 1赵云峰.[D].上海大学,1988,15-25.
  • 2史习敏主编.精密机械设计[M].上海:上海科学技术出版社,1990.32-221.
  • 3张建民主编.传感器与检测技术[M].北京:机械工业出版社,2000.26-149.
  • 4吴蜀华 马寿益.光刻制造特殊裂相光栅.精密机床,1988,(4):31-35.

同被引文献65

引证文献11

二级引证文献70

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