摘要
介绍了现有几种椭圆偏振光谱分析方法的现状,分别对其优缺点进行了评述。着重介绍了作者提出的V_(op) -λ谱图表示的方法,其优点是只需直接测得光学参量及其变化规律,而无需对被测对象作出模型假定,光谱图中谱峰能表征表面状态和结构的变化。
Several methods of analysing ellipsometric spectroscopy, their advantages and weakness are described,and the spectroellipsometry with Vop- λis introduced,whose advantages are also presented.
出处
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1992年第1期1-4,共4页
Journal of Chongqing University
基金
国家自然科学基金项目
中科院长春应化所电分析化学开放室资助
关键词
光学参量
椭圆法
椭圆偏振光谱
optical tracking rate
ellipsometry
ellipsometric spectroscopy
