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椭圆偏振光谱方法的发展现状

RECENT PROGRESS OF THE ELLIPSOMETRIC SPECTROSCOPY
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摘要 介绍了现有几种椭圆偏振光谱分析方法的现状,分别对其优缺点进行了评述。着重介绍了作者提出的V_(op) -λ谱图表示的方法,其优点是只需直接测得光学参量及其变化规律,而无需对被测对象作出模型假定,光谱图中谱峰能表征表面状态和结构的变化。 Several methods of analysing ellipsometric spectroscopy, their advantages and weakness are described,and the spectroellipsometry with Vop- λis introduced,whose advantages are also presented.
作者 黄宗卿
出处 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1992年第1期1-4,共4页 Journal of Chongqing University
基金 国家自然科学基金项目 中科院长春应化所电分析化学开放室资助
关键词 光学参量 椭圆法 椭圆偏振光谱 optical tracking rate ellipsometry ellipsometric spectroscopy
  • 相关文献

参考文献4

  • 1黄宗卿,Electrochem Soc Extended Abstracts,1991年,91卷,727页
  • 2张胜涛,1990年
  • 3黄宗卿,Chin Sci Bull,1990年,35卷,16期,1348页
  • 4黄宗卿,J Electrochem Soc,1985年,132卷,1期,24页

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