电容传感器的设计

在工业生产过程自动控制中,电容测量很重要,特别在高频情况下小电容(0.1～10pF)的测量更为重要。然而小电容的测量,往往不易测准,其测量误差主要是寄生电容造成的。为了提高测量精度,必须设计一种无寄生电容影响的电路,其实际电容传感器的结构和等效电路如图1所示。从图1可以看出,三电极电容传感器是由被测电容C_x、两电极和帘栅极之间的寄生电容C_sl和C_s2组成。三电极电容传感器的等效电路如图lb所示,图中C_p和C'_p是其它寄生电容。但是在实际测量过程中。