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半导体压力/差压变送器发展动向 被引量:1

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摘要 一、引言在电子式差压变送器中,以往主要采用力平衡式,后来又出现了位移平衡式和微位移式(如电容式差压变送器)。目前,力平衡式已逐渐被直接变换式所取代,实践证明直接变换式大大优于力平衡式。近几年来,随着 IC 技术的迅速发展和基于压阻效应的半导体敏感元件的日益成熟,
机构地区 武汉化工学院
出处 《炼油化工自动化》 1989年第1期19-22,49,共5页
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