摘要
介绍军用硅微加速度计信号检测与控制电路的工作原理、电路结构及其各单元电路的设计考虑。
The operating principle, circuit construction and design consideration of cells circuits for signal detection and controlling circuit in military silicon micro-accelerometer.
出处
《电子元器件应用》
2004年第2期8-10,共3页
Electronic Component & Device Applications
关键词
传感器
加速度计
混合电路
微电子机械系统
sensor
accelerometer: hybrid integrated circuit
microelectronic mechanical system
