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兆位器件的选择性硅淀积

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摘要本文介绍了兆位器件制造的一个重要工艺SSD(选择性硅淀积)及其在多方面的应用。

作者 John O.Borland Israel Beinglass 张桂樵

出处《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1992年第1期46-48,F003,共4页 Microelectronics & Computer

关键词硅淀积 SSD 半导体器件兆位

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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微电子学与计算机

1992年第1期

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