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温控晶闸管导通温度的设计

Design on the Turn-on Temperature of Thermothyristors
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摘要 本文从温控晶闸管结构模型出发,建立一组相应的方程,获得了温控晶闸管导通温度与离子注入剂量的关系。通过精确控制离子注入剂量,器件可以获得预期的导通温度。 In the paper, a set of equations based on a thermothyristor model was given to obtain the relationship between the turn-on temperature and the dose of ion implantation. The devices with the expected turn-on temperature have been fabricated by controlling the dose precisely.
出处 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1992年第1期77-81,共5页 Research & Progress of SSE
关键词 传感器 温敏器件 晶闸管 开关温度 Sensor, Thermosensor, Thermothy ristor, Thy ristor, Switch Temperature
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