日立S—45O扫描电镜故障分析及检修方法

ANALYSIS AND SEEKING THE TROUBLES OF SEM (Model: HITACHI S-450)

本文叙述了近10年来我们使用日立S—450扫描电子显微镜时所遇到的部分故障及故障分析、检查和修理的原则和方法。同时叙述了提高仪器管理者自我修复仪器的能力的重要意义和这种能力提高的基本方法。