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大行程高精度宏/微双重驱动机器人系统的研究
被引量:
5
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摘要
研究了具有宏/微双重驱动定位工作台的控制技术。该工作台采用直线电机进行大行程位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,采用压电陶瓷微位移器完成精密位移驱动,利用光栅尺实现闭环位移反馈,可以实现lOOmm的工作行程,10nm的重复定位精度。
作者
孙立宁
孙绍云
曲东升
王力
蔡鹤皋
机构地区
哈尔滨工业大学机器人研究所哈尔滨
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2004年第4期50-52,共3页
Chinese High Technology Letters
关键词
宏/微机器人系统
直线电机
PZT驱动
光栅
闭环位移反馈
结合动力学
分类号
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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