摘要
主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景。
The preparation of PZT films, the problems in fabrication, the PZT films integrated with MEMS device and the development of PZT films application in MEMS are presented in this paper. Their foreground of PZT films application is also prospected.
出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期37-40,共4页
Journal of Materials Engineering
基金
黑龙江省科技计划项目 (GB0 2 A3 0 2 )
