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微型技术中的并联驱动系统——传感技术、致动技术与导向的集成

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摘要微型技术及其相邻的工艺,为以发电和电场评价为基础的元件,开辟了许多新应用的可能性.本文介绍一种设计完备的微型技术构造的静电驱动装置.从有限元件计算出发,根据工艺上生产可能性设计了这些元件,并对结构与作用方式作了详细的说明.

作者大舟

出处《光机电信息》 1995年第2期3-6,共4页 OME Information

关键词微型技术并联驱动系统传感技术致动技术导向集成

分类号 TH-39 [机械工程]

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光机电信息

1995年第2期

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