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滚珠丝杠运动平台的应用

Application of Motion Platform of Ballscrews

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摘要滚珠丝杠运动平台已逐渐广泛应用于晶圆(即硅片)和IC半导体组件的运送装置.本产品开发的主要目的是将一轴直线运动平台模块化、标准化,而使用者可根据作业内容的需要选择适当的型式及行程,组成不同的结构,以满足顾客快速、低成本的需求,维系顾客在产品市场上的竞争优势.

作者王福清

机构地区上银科技股份有限公司

出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第6期76-77,共2页 Manufacturing Technology & Machine Tool

关键词滚珠丝杠运动平台硅片半导体组件模块化标准化

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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制造技术与机床

2004年第6期

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