湿氮退火改善晶体管表面特性——提高小电流下β

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摘要本文对湿氮退火改善晶体管表面特性,特别是提高小电流下β进行了论述,并对工艺作了较详细的探讨.

作者梁永林

机构地区无锡无线电工业学校

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第4期35-38,共4页 Semiconductor Technology

关键词晶体管表面特性湿氮退火

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半导体技术

1993年第4期

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