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半导体工业中的化学气体被引量：2

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摘要近年来半导体工业的飞速发展,推动了各个产业部门的技术进步.同时它又是各种高新技术综合发展的结果,特别是依赖于高纯水、高纯气、高纯试剂和洁净技术的发展.半导体工业中使用的化学试剂品种相对较少,而高纯水制备技术已基本成熟,所以本文重点介绍化学气体方面的情况.

作者刘光会

机构地区西南化工研究院

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第4期30-32,共3页 Semiconductor Technology

关键词半导体工业化学气体纯水

分类号 TN3 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1993年第4期

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