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从国际半导体设备及材料西部展览会看半导体设备发展趋势与策略
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摘要
半导体设备及材料国际组织(SEMI)于1992年6月16至18日在美国旧金山举办了一年一度的国际半导体设备及材料西部展览会.展览会规模很大,参展公司约1110家,展位2800个,展馆建筑面积为120万平方英尺;参展和参观人数约7万人.展出的产品涉及超大规模集成电路的设计、制造及测试等各个方面所需的设备和材料,品种齐全多样。
作者
罗敬承
机构地区
电子工业部电子科技情报研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第4期28-29,44,共3页
Semiconductor Technology
关键词
半导体材料
半导体器件
半导体设备
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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半导体技术
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